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总序计量是关于测量的科学它涉及测量理论测量技术和测量实践等多个领域．计量是科学技术的一个重要组成部分是与人类社会进步和科学技术发展同步发展的。现代计量是国民经济建设和国防建设中一项重要的技术基础是一个仪器检测一个地区和一个行业发展的探测器。计量技术是科技创新的基础技术，又是高技术产业化发展的一个重要条件。老辈无产阶级革命家聂荣臻元帅曾经指出“科技要发展计量须先行“。半个世纪以来，国防科技工业计量工作者同全国计量同行一道自力更生艰苦奋斗勇于创新拼搏进取，形成了学科门类比较齐全的计量体系，创造了辉煌业绩积累了宝贵经验．不断丰富和发展着现代计量。进八世纪产品测量数据的准确性可靠性可追溯性及仪器外校互认性都对计量技术水平提出了更高的要求我们要加强计量技术研究和计晕人才的队伍建设，为加入WTO后我国仪器检测计量体系的建立作出应有的贡献。当今的时代是竞争的时代而人才是竞争之本，以信息技术为代表的高新技术迅速发展对计量人员的整体素质提出了更高的要求。因此迫切需要培养一大批掌握高新计量技术的人才。《计量培训教材》的编撰和出版将为培养和造就一支为国民经济和国防现代化建设服务的计量人才队伍作出应有的贡猷。
《计量培训教材》是一部卷共册余万宇的大型计量专业技术丛书，是我国部学科专业齐全的计量培训教材。前卷涵盖现代计量学大专业技术领域，后卷介绍计量技术和计量管理的基础知识，不仅展现了国内外计量科研的校准新成果而且突出了我国计量工作的特色。它的出版凝聚了国防科技工业众多专家和计量工作者多年的心血，是集体智慧的结晶。希望读者通过阅读这部丛书，能够熟悉计量基础知识并在实践中掌握运用在计量工作中取得更大的成绩。
社会在进步科技在发展。我相信，随着高新技术应用研究的积极开展，新的技术和新的成果将会充实和丰富《计量培训教材》的内容．专家和读者对书中的不足提出的批评指正意见将会补充和完善这部丛书的内容使之成为广大计量工作者的良师益友。年月日“计量”这一术语在我国成为亏用术语校准早是在新中国成立后年开始使用的，以取代我国使用古远的“度量衡”。年《中华人民共和国计量法》公布后，“TT量一词得到法定确认，使用更加普遍。但是由于对其定义没有统一的规范的表述，长期以来，在计量界，乃至教育科技工业商业等社会各界“计量一词的用法严重混乱，并存在尖锐的分歧。
年由仪器检测质量技术监督局发布的仪器检测计量技术规范JJF《通用计量术语及定义*将“计量”的定义作了新的规范性表述。“计量”定义为实现单位统一量值准确可靠的活动，其活动包括科学技术上的法律法规上的和行政管理上的活动。这一新定义把“计量’同术语“测量”“计量学”界分清楚，有利于计量工作科学而有序地开展，有利于为社会提供经济而有效的计量服务。本卷教材就是以“计量”新定义为指导，将计量工作相关的共用性通用性的技术基础知识汇编成册。
共用性”是指各计量亏业都需要学习掌握应用的技术基础知识，“通用性”是指各计量专业经常用普遍用的基本的技术基础知识。本卷教材共分七篇，每篇分若干章节。篇是计量技术概述，按章分别介绍了计量的起源和友展计量的地位与作用国防科技工业计量和计量技术专业等。篇根据我国计量工作者对我国计量史长期研究的成果，较详细和系统地综述了我国百代近代和现代计量发展史，新中国成立后半个世纪计量发展史，特别介绍了国防科技工业访量各时期的计量发展史从中可领略我国五千年文明史中内含着的一部辉煌的计量史。
第二篇是计量术语，该篇变革传统的术语介绍方法，采用概念体系的方法，地介绍了计量相关的量和单位测量和测量结果测量器具和测量标准测量设备特性量值传递与量值湖源计量与质量计量与实验室认可等术语慨念体系．力求方便凄者记忆和理解。该篇术语的介绍与校准新修改发布的仪器检测计量技术规范协调一致。第三篇是物理量和计量单位，按量和单位基础知识量和单位的表述规则量和单位的实际应用等内容分章，依据量和单位的仪器检测标准GB/OO-GB，地介绍了仪器外校单位制，我国的法定计量单位，量和单位的名称符号以及数值的表述规则，科研生产中量和单位的正确表示，计量单位的换算和换算因数等内容，并附有详细的量和单位的介绍，可作为计量工具书参考。
第四篇是数据处理与统计分析按章重点介绍了测量误差概率统计数据处理方法统计检验等内容。考虑到各计量专业的实际需要，材料取舍时注意到既有共同需要掌握均又有特殊计量专业需要了解掌握的内容。第五篇是测量不确定度评定依据测量不礁定度表述和评定的仪器检测技术规范和国军标重点介绍了测量不确定度基本概念标准不确定度的评定与合成扩展不确定度的表示方式测量结果的表示方式等。为便于读者理解，采用概念介绍和范例示题相结合的方式介绍，在表述上特别注意到测量不确定度和误差不应y昆淆的基本原则。
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随着半导体制程技术的飞速发展,芯片线宽已经进入纳米级,相应的产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高,因此半导体洁净室内的控制标准也提高了很多。在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内。
因此洁净室系统的运行状态对硅芯片品质和良率的影响举足轻重。近年来我国半导体工业发展迅速，半导体芯片使用了太多以往不曾使用的各种特殊材料气体，而且其使用量有强劲的上升趋势。特殊材料气体所具有的危害性非常多，包括毒性，自燃性，助燃性，自行分解性，窒息性，腐蚀性等，特别是其毒性一般非常强。其次这些特殊性材料气体中有许多对人体有害的物质，其中易燃易爆的特殊材料气体例如硅烷泄漏后易引起火灾爆炸事故的发生，另外，这些气体多在洁净室内具有密封性的环境中使用，一旦发生泄漏时危险性极大，其损失不可估量。
对于洁净室内某区域温湿度异常波动,需要巧妙运用在线检测的数据,去系统分析任何一次超出控制的异常情况,找到引起温湿度异常波动的真实原因,从而找到有效的对策以避免问题的再次发生。其次洁净室耗能为一般空调系统之5~10倍，在国内自产能源匮乏且面临能源消耗日益严重的情况下，如何无尘室空调系统的节能技术，以生产力与竞争力，是我们必须面对的课题。生产环境中空气、工艺用纯气和液体的洁净度及其他空气参数（温／湿度，风速，压差）对半导体，制药，电子等行业有着至关重要的作用。
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