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在大约1330Pa(10T0rr)负压下中止渗入，然后停气(降压)中止扩散。渗碳后的精密钢管淬火采用一次淬火法，即先停电，通氮冷却工件至临界点A，以下，使内部发作相变，再停气，开泵，升温到Ac1，～Accm之间。淬冷方法可采用气冷或油冷。后者为奥氏体化后移入前室，充氮至常压，入油。真空渗碳的温度普通高于普通气体渗碳。结果真空渗碳为真空渗碳一淬火工艺曲线。通入稀薄渗碳富化气(见控制气氛热处置)活化之后在真空中加热到渗碳温度并保温使表面净化常采用920～1040℃渗入和扩散可按所示分两阶段，也可用脉冲式通气，停气，多段式的渗一扩相间，效果更好。由于温度高，特别表面洁净，有活性，真空渗碳层构成速度比普通气体，液体和固体渗碳快，如恳求渗层为1mm时，在927℃只需5h，而1033℃仅需1h。
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